财产自强】新松半导体公司具有完全自从学问产

　　目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，已迈入先辈制程产线示范使用阶段；四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。（3）大气类产物方面，目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。集成产物包罗立式炉，以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型。

　　，自从霸占的新一代实空机械手手艺，机能对标国外先辈产物，手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，可以或许为世界各地的。